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林晓说道:“如何让光学镜片更加精密,无非就是将镜片表面那些凸起的粒子给弄走。”
“我们能够利用激光干涉仪,找到这些凸起的粒子,接下来针对这些凸起粒子的凸起量,我们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子,然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来,我们的镜片就能变得无比地平整起来。”
听到林晓的想法,罗刚宪便忍不住说道:“这……这应该做不到吧?激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据,我们只能进行统计,但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊!而且,硅原子半径都经到100多皮米了,直径等于两百多皮米,而我们需要的是100皮米以下的级别,如果是离子轰击,直接把表面原子给轰击掉了,留下的可能就是一个一百多皮米的坑,这样还是达不到光刻机镜片的要求!”
林晓说的确实是一个很好的方法,但这是从理论上来说,他作为专业的,心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑,说道:“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊,罗院士。”
“我说的是‘敲平’!”
“我们只需要就算好轰击角,控制住水平和垂直上的分力,我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且,我们所谓的原子半径,其实只是原子轨道半径而已,在受力范围上,它们可不是一个球,用离子束去轰击,也只是他们之间的电磁力罢了。”
“以前的离子抛光技术,使用的是氩等离子体,在轰击的时候,我们考虑其电荷量,就能够实现了。”
听到这,罗刚宪顿时感到不可思议,这么说的话,似乎真的可行?
但是经过片刻的思考后,微微摇头道:“这做不到吧,这在数学上无法实现!你怎么计算出轰击角?”
林晓却是一笑:“只是一道数学问题而已,我最不怕的就是数学问题。”
“这……”
罗刚宪话语一滞。
只是一道数学问题?
而已?
他不知道怎么说了,但是看着林晓的样子,他却找不到继续质疑的理由。
似乎,真的可以这么做?
如果他们能够计算出离子束轰击角,似乎确实完全有可能将那些粒子给“敲”进去?
其实,这就类似于一种离子抛光技术,只不过相比较那些比较常见的离子抛光技术,他们的这个技术对精细度要求的高了一点点。
而解决这个问题,最重要的可不就是数学问题?
想到这,他看着已经走到了椭圆桌另外一边的林晓,站起来说道:“林教授,你说服了我,我们合作吧。”
林晓笑了笑,说道:“当然可以,只不过……”
他看了一眼在场的所有人,说道:“各位,我刚才说了,我们要成立一个联盟,所以,我想和你们所有人一起合作。”
“而你们在技术上遇到的问题,都可以来找我合作研究。”
听到这,在场的人顿时都瞪大了。
林晓这话,是打算把他们所有人背后所代表的机构企业拉到一起?
他甚至还说,技术上遇到了问题,都可以去找他合作?
虽然林晓解决了cmp材料技术,还有硅晶圆提纯技术,甚至还在编码器精度上实现了重大突破,完全可以称之为全能性人才。
但是他们在场的那么多行业,林晓如何做到全能?
有人立马表示了反对:“林教授,你的提议很不错,但是你知道极紫外光光源问题如何解决吗?这是我们想问你的第一个问题。”
林晓一笑:“极紫外光光源,用的无非就是准分子激光照射在锡靶材上,退激产生极紫外光,而我们要做的就是提高其功率。”
“这一点,我们只需要控制锡靶材和准分子激光的功率,实现锡靶材能够更大的接受准分子激光照射率,就能够实现更强的退激效应。”
“关于如何实现锡靶材更高地接受照射率,这一点需要数学计算和实验验证,数学方面的问题,对我来说同样不是问题,所以你们和我合作之后,我们同样也有机会实现突破。”
“另外,还有我们对euv光的采集效率,这一点,只要能够实现我刚才所说的对镜片的更精密加工,我们采集效率完全可以再次增大,进而提高功率。”
听到林晓的回答,那个反对的人又是哑口无言,因为他发现自己居然被林晓说动了。
如果真的能够和林晓合作的话,他们的问题是不是真的能够得到解决?
而这时候,又有人提问了:“林教授,光路系统呢?”
林晓再一次笑道:“光路系统,首先是我们的精密控制领域需要突破,而我相信,现在我们已经有这样的机会了。”
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